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特氣、GC特氣柜和特氣系統常識性問題大匯總

氣(qi)體應(ying)用系統工(gong)程行業雖然是(shi)一個小眾行業，但它在(zai)現代工(gong)業中(zhong)也是(shi)不(bu)可或缺的(de)一部(bu)分(fen)，其(qi)工(gong)程覆(fu)蓋半(ban)導體、集成電路(lu)、光(guang)纖、太陽(yang)能電池(chi)、生物醫藥、食(shi)品安全、實驗科研等多個高新技術領域。其(qi)中(zhong)特(te)氣(qi)系統是(shi)一個非常重要的(de)組成部(bu)分(fen)，因為篇(pian)幅有限，今天小編就先帶(dai)大(da)家了解一下特(te)氣(qi)、特(te)氣(qi)柜和特(te)氣(qi)系統吧！

特氣系統

1.什么是特氣？

特(te)(te)氣，又名(ming)特(te)(te)種氣體(ti)，是一種基礎化工原(yuan)料(liao)，大多是易燃易爆、有毒、有腐蝕(shi)性、純度(du)特(te)(te)別高（超過99.999%）的氣體(ti)，用來(lai)滿(man)足特(te)(te)定需求如芯(xin)片制程等。至(zhi)于如何界定屬(shu)不(bu)屬(shu)于特(te)(te)氣范疇，對于我們(men)行業內(nei)來(lai)說，主要看的是純度(du)。

2.特氣的分類：

特種(zhong)氣體(Specialtygases)門類繁多，通(tong)常可區分為電子氣體，標(biao)準氣，環保(bao)氣，醫用氣，焊接氣，殺菌(jun)氣等。

3.關于特(te)氣(qi)的純度，5N/6N是什么意思？

5N：99.999% ，氣體純(chun)度達到(dao)5個nine；

6N：99.9999% ，氣體純度達到(dao)6個nine。

4.特氣的使用危險性(xing)大(da)不(bu)大(da)？

廣泛上來說危(wei)險性(xing)很大，因為特種氣體大多是(shi)危(wei)險性(xing)氣體，如高純氯氣CL2擁有劇毒性(xing)，人(ren)體吸入過量高純氯氣會引起呼吸道損(sun)傷，嚴(yan)重時會引起急性(xing)肺水腫，搶救(jiu)不(bu)(bu)當可能會造成窒息死亡。但是(shi)只要(yao)你的(de)技術過硬(ying)，經驗足夠，按照規定的(de)操作規范進行安(an)全操作一般(ban)問題不(bu)(bu)大，這也是(shi)為什么特氣系統(tong)工程的(de)安(an)裝(zhuang)公司需要(yao)資質的(de)原(yuan)因。

5.什么(me)是GC特氣柜(ju)？

GC特氣(qi)柜是專為易(yi)燃易(yi)爆、腐蝕性、毒性等(deng)危險特種氣(qi)體供應而設(she)計的(de)供應系統(tong)設(she)備，主要(yao)用于特種氣(qi)體的(de)高純(chun)度安全穩定(ding)輸送(song)。

特氣柜

6.特氣柜的種類

特氣柜按類別分全自(zi)動、半自(zi)動和手動操作(zuo)。

其(qi)中(zhong)全自動GC特(te)氣柜按功能設計可分為 單(dan)鋼(gang)(gang)瓶(ping)(1process)/ 雙(shuang)鋼(gang)(gang)瓶(ping)( 2 Process ) / 三(san)鋼(gang)(gang)瓶(ping)(2 Process + 1 N2) 氣瓶(ping)柜內(nei)的鋼(gang)(gang)瓶(ping)數設計可分為三(san)種：分別為單(dan)鋼(gang)(gang)瓶(ping)、雙(shuang)鋼(gang)(gang)瓶(ping)、三(san)鋼(gang)(gang)瓶(ping)。

（1） 單鋼的設計通(tong)常使用于(yu)研究機構或實驗(yan)室(shi)等。工藝制程尚未(wei)有量產，氣(qi)體使用量小，現場可隨時協調停機進行(xing)鋼瓶(ping)之更換，其優點節省空間、成(cheng)本低(di)、但需透過日常之管理與協調以免中斷工藝制程造成(cheng)損失。

（2） 雙鋼(gang)與三鋼(gang)常(chang)用于量產(chan)工(gong)廠(chang)，工(gong)藝制程不(bu)允許停(ting)機(ji)情況(kuang)，當(dang)一(yi)支鋼(gang)瓶(ping)(ping)(ping)使用完后(hou)，另一(yi)支備用鋼(gang)瓶(ping)(ping)(ping)（stand by）會自動轉為(wei)供氣(qi)(qi)，此(ci)兩種形式最大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)差(cha)別是(shi)在purge管(guan)路的(de)(de)(de)(de)(de)(de)純化氮氣(qi)(qi)是(shi)以鋼(gang)瓶(ping)(ping)(ping)或廠(chang)務端(duan)供應(ying)，當(dang)purge用的(de)(de)(de)(de)(de)(de)PN2統一(yi)由廠(chang)務端(duan)來供應(ying)時，所有特(te)殊氣(qi)(qi)體供應(ying)系統不(bu)管(guan)是(shi)否相容，全部(bu)連接到同(tong)(tong)一(yi)個供應(ying)源，會有較(jiao)高的(de)(de)(de)(de)(de)(de)風險值(zhi)；萬一(yi)中央供應(ying)系統的(de)(de)(de)(de)(de)(de)PN2中斷(duan)，警報系統又損壞，恰(qia)巧(qiao)兩種不(bu)相容的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)體同(tong)(tong)時使用purge，此(ci)時極(ji)有可能發(fa)生(sheng)(sheng)爆炸(zha)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)事件(jian)發(fa)生(sheng)(sheng)，相同(tong)(tong)性(xing)質可使用同(tong)(tong)一(yi)瓶(ping)(ping)(ping)鋼(gang)瓶(ping)(ping)(ping)來purge增加的(de)(de)(de)(de)(de)(de)成本及空(kong)間非常(chang)有限，是(shi)一(yi)種非常(chang)好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)應(ying)變方式。

（3） 三鋼(gang)氣柜成本不會(hui)差很多安全(quan)性(xing)會(hui)是最好的，只要空(kong)間允許應最優先選擇。

7.全自(zi)動(dong)特氣柜的功能(neng)作用(yong)

全(quan)(quan)自(zi)動特氣(qi)柜（Gas Cabinet ）基本功(gong)能包括自(zi)動吹掃、自(zi)動切換以及緊急情況下的自(zi)動安全(quan)(quan)切斷(duan)（當設(she)定報警信號被觸(chu)發(fa)時(shi)）。采用PLC控制，觸(chu)控屏為人機界(jie)面，通過設(she)備安裝的壓力傳感器、氣(qi)動閥(fa)、過流(liu)量計(ji)等裝置，實現(xian)設(she)備安全(quan)(quan)有效的運(yun)行(xing)。其內部PLC程式設(she)計(ji)的安全(quan)(quan)聯鎖功(gong)能和高純(chun)閥(fa)件的合理選擇和布局，既滿足了(le)半導體(ti)工藝(yi)生產過程中(zhong)對特殊氣(qi)體(ti)連(lian)續供給和高純(chun)度的要求，同時(shi)也確保了(le)工廠正常生產和員工人身安全(quan)(quan)。

8.特氣(qi)柜(ju)與普(pu)通氣(qi)瓶柜(ju)的(de)區別？

因(yin)特種氣(qi)體(ti)(ti)(ti)的特殊性，承載特種氣(qi)體(ti)(ti)(ti)的氣(qi)瓶柜(ju)(ju)體(ti)(ti)(ti)須為防爆柜(ju)(ju)體(ti)(ti)(ti)，同時為保證(zheng)(zheng)半導體(ti)(ti)(ti)制(zhi)程工藝中(zhong)特種氣(qi)體(ti)(ti)(ti)的穩定供氣(qi)和安(an)(an)全(quan)(quan)，應具(ju)備多種功能，如柜(ju)(ju)內(nei)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)泄(xie)漏偵測報警(jing)、PLC面板控制(zhi)、全(quan)(quan)自動(dong)吹掃等(deng)，提(ti)高使用安(an)(an)全(quan)(quan)系(xi)數，有效(xiao)的保護生產(chan)安(an)(an)全(quan)(quan)和人員的生命(ming)安(an)(an)全(quan)(quan)。其次，半導體(ti)(ti)(ti)行業(ye)配置(zhi)電子特氣(qi)柜(ju)(ju)需(xu)要擁有SEMI S2認證(zheng)(zheng)。

9.特氣柜的SEMI S2認證(zheng)重(zhong)要嗎(ma)？

SEMI S2的(de)對象是針對半導(dao)體制程設(she)(she)備的(de)，是關(guan)于環境、健康(kang)、安全方面(mian)的(de)標準(zhun)，也即為EHS標準(zhun)，因為半導(dao)體行業涉(she)及(ji)到很多特(te)種氣(qi)體、化學品(pin)及(ji)電氣(qi)、游(you)離及(ji)非(fei)游(you)離的(de)輻射，如果處理不好，下游(you)用戶在使(shi)用的(de)時(shi)候就很容易導(dao)致(zhi)事故甚至災難，因此對設(she)(she)備廠商的(de)設(she)(she)備產品(pin)如電子特(te)氣(qi)柜，擁(yong)有SEMI S2認(ren)證(zheng)就顯得極(ji)端重要。

SEMI S2認證

10.特氣系(xi)統(tong)是什么？

特(te)種氣(qi)體的(de)(de)儲存(cun)、輸送與分配過(guo)程(cheng)的(de)(de)設(she)備、管(guan)道和部件都總稱(cheng)則稱(cheng)為特(te)氣(qi)系(xi)統，是用于實現特(te)氣(qi)安(an)全使用的(de)(de)氣(qi)體系(xi)統工程(cheng)。

11.特氣系統的(de)組成

特氣(qi)(qi)系統(tong)由(you)供氣(qi)(qi)端（CF4是氣(qi)(qi)體鋼瓶供氣(qi)(qi)）、GC特氣(qi)(qi)柜/GR特氣(qi)(qi)架、氣(qi)(qi)體閥門(men)分配箱VMB/VMP、耐(nai)腐蝕的(de)316L EP不銹鋼管道(dao)和氣(qi)(qi)體監測報(bao)警系統(tong)等組成。

特氣系統

12.特氣系統的應(ying)用領(ling)域？

特(te)氣系統廣泛(fan)電(dian)子工(gong)業領(ling)域，因為(wei)電(dian)子特(te)種(zhong)氣體是(shi)光(guang)電(dian)子、微電(dian)子等領(ling)域，特(te)別(bie)是(shi)超大規模集成(cheng)電(dian)路(lu)、液晶顯示(shi)器(qi)件、非晶硅薄膜太陽能電(dian)池(chi)、半(ban)導(dao)體發光(guang)器(qi)件和半(ban)導(dao)體材(cai)料(liao)制造過程不可(ke)缺少的(de)基礎(chu)性支撐源材(cai)料(liao)。它的(de)純度(du)(du)和潔凈度(du)(du)直接影(ying)響到光(guang)電(dian)子、微電(dian)子元器(qi)件的(de)質量、集成(cheng)度(du)(du)、特(te)定技術指(zhi)標和成(cheng)品率，并從(cong)根本(ben)上制約著電(dian)路(lu)和器(qi)件的(de)精確性和準確性。

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