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鍺烷特氣系統在半導體集成電路中的作用

　　隨著信息時(shi)代的(de)不斷進步，半導體(ti)(ti)(ti)等(deng)電(dian)(dian)子行(xing)業(ye)越(yue)來越(yue)重(zhong)要(yao)，其中，電(dian)(dian)子氣體(ti)(ti)(ti)作為電(dian)(dian)子行(xing)業(ye)支撐性(xing)原(yuan)料，其質量決定了電(dian)(dian)子產品的(de)性(xing)能。鍺烷就是一種(zhong)重(zhong)要(yao)的(de)電(dian)(dian)子工業(ye)用(yong)原(yuan)料氣體(ti)(ti)(ti)，是制造高(gao)純(chun)鍺和各(ge)種(zhong)硅(gui)鍺合(he)金(jin)的(de)重(zhong)要(yao)原(yuan)材(cai)料，同時(shi)，因其危險(xian)的(de)氣體(ti)(ti)(ti)性(xing)質，供氣和使用(yong)都需通過特氣系(xi)統來實現。

　　什么是鍺烷？

　　鍺烷(wan)（GeH4）是一種無色、劇毒、可自(zi)燃、非(fei)腐蝕性氣(qi)(qi)(qi)體。關于鍺烷(wan)的氣(qi)(qi)(qi)體性質，熱穩定差(cha)，較高(gao)溫度(du)時（大(da)概280℃）會(hui)分解(jie)(jie)成鍺和氫氣(qi)(qi)(qi)；自(zi)催化(hua)性很強，易(yi)發生(sheng)分解(jie)(jie)爆炸，危險性很高(gao)！

　　鍺烷的用途

　　鍺(zang)烷（GeH4）是(shi)制造高純(chun)鍺(zang)和(he)各種硅鍺(zang)合金的重要原(yuan)材料，主(zhu)要用于半導體,光伏(fu)太(tai)陽能(neng)和(he)集(ji)成(cheng)電(dian)路行(xing)業。比如，在MOCVD（金屬有機(ji)物化(hua)學氣(qi)相(xiang)沉積）工藝中，鍺(zang)烷（GeH4）常和(he)硅烷，通過特氣(qi)系統的輸送，作為氣(qi)體原(yuan)材料，生(sheng)成(cheng)硅-鍺(zang)薄(bo)膜。

　　在(zai)半導體集成(cheng)電(dian)路電(dian)子器件制造中(zhong)，鍺(zang)(zang)烷作為硅(gui)-鍺(zang)(zang)(Si-Ge)膜(mo)的(de)前驅氣體，參與(yu)制造。如在(zai)異質結二(er)極晶體管(guan)(guan)（HBT）中(zhong)，薄(bo)硅(gui)鍺(zang)(zang)層作為二(er)極晶體管(guan)(guan)的(de)基底生(sheng)長在(zai)硅(gui)片上，與(yu)傳統的(de)硅(gui)二(er)極晶體管(guan)(guan)相比，硅(gui)-鍺(zang)(zang)HBT在(zai)速度、響(xiang)應頻率和增益上具有明顯的(de)優勢(shi)，其速度和頻率響(xiang)應可以與(yu)更(geng)昂貴(gui)的(de)鎵-砷HBT相比。

　　鍺(zang)烷特氣系統(tong)的作(zuo)用

　　作為半導體(ti)(ti)行業(ye)的(de)常用電子氣(qi)體(ti)(ti)，大(da)多(duo)都是危險(xian)性氣(qi)體(ti)(ti)，如硅烷(wan)、鍺烷(wan)。這(zhe)些特殊氣(qi)體(ti)(ti)如果(guo)使用普通的(de)的(de)供(gong)氣(qi)系統，會具有很(hen)大(da)的(de)危險(xian)，容易導致事(shi)故的(de)發生，威脅到生產人員安全(quan)。所以需(xu)要(yao)使用一種對安全(quan)性有著更高要(yao)求的(de)供(gong)氣(qi)系統，也就是電子特氣(qi)系統。

　　鍺烷特氣(qi)(qi)(qi)系統由(you)鍺烷特氣(qi)(qi)(qi)柜、氣(qi)(qi)(qi)體閥門分配箱VMB、耐腐(fu)蝕的316L不銹鋼管路及(ji)氣(qi)(qi)(qi)體泄(xie)漏(lou)監測(ce)報警(jing)系統組成，主要(yao)的作用是保護(hu)氣(qi)(qi)(qi)體的純度、安全、提(ti)供(gong)穩定的氣(qi)(qi)(qi)體壓(ya)力和(he)不間斷供(gong)氣(qi)(qi)(qi)。

　　以上，就是關(guan)于鍺(zang)(zang)烷(wan)及鍺(zang)(zang)烷(wan)特(te)氣系統的簡單(dan)(dan)介紹，除(chu)此之外，鍺(zang)(zang)廣泛(fan)應用與(yu)紅外光學、光纖(xian)、催化劑、醫藥、食品(pin)等領域，而(er)鍺(zang)(zang)烷(wan)是高純單(dan)(dan)質鍺(zang)(zang)的重要來源之一(yi)。

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