氣(qi)體質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制器怎么來控制液(ye)(ye)(ye)(ye)氮的流量(liang)(liang)呢?液(ye)(ye)(ye)(ye)氮是(shi)(shi)指液(ye)(ye)(ye)(ye)態的氮氣(qi)。液(ye)(ye)(ye)(ye)氮是(shi)(shi)惰(duo)性(xing),無(wu)色,無(wu)臭,無(wu)腐蝕性(xing),不可燃(ran),溫度極低的液(ye)(ye)(ye)(ye)體,汽化時大量(liang)(liang)吸熱接觸造成凍傷。在工業中(zhong),液(ye)(ye)(ye)(ye)態氮是(shi)(shi)由空氣(qi)分(fen)(fen)餾而得,將空氣(qi)凈化后,在加(jia)壓、冷卻的環境下液(ye)(ye)(ye)(ye)化,借由空氣(qi)中(zhong)各(ge)組(zu)分(fen)(fen)之沸點不同加(jia)以分(fen)(fen)離。
氣體(ti)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji)和(he)(he)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)控制器(qi)(qi)是(shi)在20℃,1個大氣壓條(tiao)件下標定(ding)的(de)(de),主要是(shi)指氣體(ti)在1分鐘的(de)(de)體(ti)積(ji)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)單位(wei)。熱(re)(re)式流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji)傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)包含兩個傳感(gan)(gan)元件,一(yi)個速(su)度傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)和(he)(he)一(yi)個溫(wen)(wen)度傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)。它們自動地補(bu)償(chang)和(he)(he)校正(zheng)氣體(ti)溫(wen)(wen)度變(bian)化。儀表的(de)(de)電加熱(re)(re)部分將速(su)度傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)加熱(re)(re)到高于工況(kuang)溫(wen)(wen)度的(de)(de)某一(yi)個定(ding)值(zhi)(zhi),使(shi)速(su)度傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)和(he)(he)測量(liang)(liang)工況(kuang)溫(wen)(wen)度的(de)(de)傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)之(zhi)間形成(cheng)恒(heng)定(ding)溫(wen)(wen)差。當保持溫(wen)(wen)差不變(bian)時,電加熱(re)(re)消耗的(de)(de)能量(liang)(liang),也可以說(shuo)熱(re)(re)消散值(zhi)(zhi),與流(liu)(liu)(liu)過氣體(ti)的(de)(de)質量(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)成(cheng)正(zheng)比。
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