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特氣、GC特氣柜和特氣系統常識性問題大匯總

氣體應用(yong)系統(tong)(tong)工(gong)程行業(ye)(ye)雖然是一(yi)(yi)個(ge)小眾行業(ye)(ye)，但它在現代工(gong)業(ye)(ye)中(zhong)也是不可(ke)或缺的一(yi)(yi)部(bu)分，其工(gong)程覆(fu)蓋半(ban)導體、集成(cheng)(cheng)電路、光纖、太陽能電池、生物醫藥(yao)、食品安全、實驗(yan)科研等(deng)多(duo)個(ge)高新技術領(ling)域。其中(zhong)特(te)(te)氣系統(tong)(tong)是一(yi)(yi)個(ge)非(fei)常重要的組成(cheng)(cheng)部(bu)分，因(yin)為篇幅(fu)有限，今天小編就先帶(dai)大家了(le)解一(yi)(yi)下特(te)(te)氣、特(te)(te)氣柜和(he)特(te)(te)氣系統(tong)(tong)吧！

特氣系統

1.什么是特氣？

特(te)(te)(te)氣(qi)(qi)，又(you)名特(te)(te)(te)種氣(qi)(qi)體(ti)，是(shi)一種基礎化工原料，大(da)多是(shi)易(yi)燃易(yi)爆、有毒、有腐蝕性、純(chun)度特(te)(te)(te)別高（超過99.999%）的(de)氣(qi)(qi)體(ti)，用來(lai)滿足特(te)(te)(te)定需求如芯片制程等。至于(yu)如何界定屬不屬于(yu)特(te)(te)(te)氣(qi)(qi)范疇，對于(yu)我們行業內來(lai)說，主要看的(de)是(shi)純(chun)度。

2.特氣的分類：

特(te)種氣(qi)體(Specialtygases)門類繁多，通(tong)常可區分(fen)為電子氣(qi)體，標準氣(qi)，環(huan)保氣(qi)，醫用(yong)氣(qi)，焊(han)接(jie)氣(qi)，殺菌氣(qi)等(deng)。

3.關于特氣的純度，5N/6N是什(shen)么意思？

5N：99.999% ，氣(qi)體純度(du)達到5個nine；

6N：99.9999% ，氣體純度達到6個(ge)nine。

4.特氣的使(shi)用危險性大(da)不大(da)？

廣泛上來說危(wei)險(xian)性(xing)很大(da)，因為特(te)種氣體大(da)多是危(wei)險(xian)性(xing)氣體，如高純(chun)氯氣CL2擁有劇毒性(xing)，人體吸(xi)入過量高純(chun)氯氣會引起呼吸(xi)道損傷，嚴重(zhong)時會引起急(ji)性(xing)肺水腫，搶救(jiu)不(bu)當可能(neng)會造(zao)成(cheng)窒息死亡。但是只要(yao)你的(de)技術過硬，經(jing)驗足夠，按(an)照規(gui)定的(de)操作規(gui)范(fan)進行安全操作一般問題(ti)不(bu)大(da)，這也是為什么特(te)氣系統(tong)工程的(de)安裝公司需要(yao)資質的(de)原因。

5.什么是(shi)GC特氣柜(ju)？

GC特(te)氣柜是專為(wei)易燃易爆、腐蝕性(xing)、毒性(xing)等危險(xian)特(te)種(zhong)(zhong)氣體供應(ying)而設(she)計的供應(ying)系統設(she)備，主要用(yong)于特(te)種(zhong)(zhong)氣體的高純度安全穩定(ding)輸(shu)送。

特氣柜

6.特氣柜的種類

特氣柜按類別分(fen)全自(zi)動(dong)、半自(zi)動(dong)和(he)手(shou)動(dong)操作。

其(qi)中(zhong)全自(zi)動GC特氣柜按功能設計可(ke)分為 單(dan)鋼(gang)瓶(ping)(ping)(1process)/ 雙(shuang)鋼(gang)瓶(ping)(ping)( 2 Process ) / 三(san)鋼(gang)瓶(ping)(ping)(2 Process + 1 N2) 氣瓶(ping)(ping)柜內的鋼(gang)瓶(ping)(ping)數設計可(ke)分為三(san)種：分別為單(dan)鋼(gang)瓶(ping)(ping)、雙(shuang)鋼(gang)瓶(ping)(ping)、三(san)鋼(gang)瓶(ping)(ping)。

（1） 單鋼(gang)的設計通常(chang)使用(yong)(yong)于研究機構或實驗室等。工藝(yi)制(zhi)程(cheng)尚未(wei)有量(liang)產，氣體使用(yong)(yong)量(liang)小，現場可隨(sui)時協調(diao)(diao)停機進行鋼(gang)瓶之(zhi)更換(huan)，其優(you)點節省空間、成本(ben)低、但需(xu)透過日常(chang)之(zhi)管理與(yu)協調(diao)(diao)以免中(zhong)斷(duan)工藝(yi)制(zhi)程(cheng)造成損(sun)失。

（2） 雙鋼(gang)(gang)與三(san)鋼(gang)(gang)常用(yong)(yong)于(yu)量產工(gong)廠(chang)，工(gong)藝制程(cheng)不允許(xu)停(ting)機情況，當一(yi)(yi)(yi)支鋼(gang)(gang)瓶使用(yong)(yong)完(wan)后，另一(yi)(yi)(yi)支備用(yong)(yong)鋼(gang)(gang)瓶（stand by）會自動轉為(wei)供(gong)(gong)(gong)氣(qi)(qi)，此兩(liang)種(zhong)(zhong)形式最大的(de)差別(bie)是(shi)(shi)在purge管路(lu)的(de)純(chun)化氮氣(qi)(qi)是(shi)(shi)以鋼(gang)(gang)瓶或廠(chang)務(wu)端(duan)供(gong)(gong)(gong)應(ying)，當purge用(yong)(yong)的(de)PN2統一(yi)(yi)(yi)由(you)廠(chang)務(wu)端(duan)來供(gong)(gong)(gong)應(ying)時，所有特(te)殊氣(qi)(qi)體供(gong)(gong)(gong)應(ying)系統不管是(shi)(shi)否相容(rong)，全(quan)部連接(jie)到同(tong)一(yi)(yi)(yi)個供(gong)(gong)(gong)應(ying)源，會有較(jiao)高的(de)風險值；萬一(yi)(yi)(yi)中央供(gong)(gong)(gong)應(ying)系統的(de)PN2中斷，警報系統又損壞，恰(qia)巧(qiao)兩(liang)種(zhong)(zhong)不相容(rong)的(de)氣(qi)(qi)體同(tong)時使用(yong)(yong)purge，此時極有可(ke)能發生爆炸的(de)事(shi)件發生，相同(tong)性質可(ke)使用(yong)(yong)同(tong)一(yi)(yi)(yi)瓶鋼(gang)(gang)瓶來purge增加(jia)的(de)成(cheng)本及空間(jian)非常有限，是(shi)(shi)一(yi)(yi)(yi)種(zhong)(zhong)非常好的(de)應(ying)變(bian)方式。

（3） 三(san)鋼(gang)氣柜成本不會(hui)差很多安全性會(hui)是(shi)最(zui)好的，只(zhi)要空間允(yun)許應最(zui)優先(xian)選擇。

7.全(quan)自動特(te)氣柜的功(gong)能作用

全(quan)自(zi)動特(te)氣柜（Gas Cabinet ）基本功能包括自(zi)動吹掃、自(zi)動切換以及緊急情況下(xia)的(de)自(zi)動安(an)(an)(an)全(quan)切斷（當設定報警信(xin)號被觸發時）。采(cai)用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過(guo)(guo)設備(bei)(bei)安(an)(an)(an)裝(zhuang)的(de)壓(ya)力(li)傳(chuan)感器、氣動閥(fa)、過(guo)(guo)流量(liang)計等(deng)裝(zhuang)置，實現設備(bei)(bei)安(an)(an)(an)全(quan)有效的(de)運(yun)行。其內(nei)部PLC程(cheng)式設計的(de)安(an)(an)(an)全(quan)聯(lian)鎖功能和(he)高純(chun)(chun)閥(fa)件的(de)合(he)理選擇(ze)和(he)布(bu)局(ju)，既滿足了半(ban)導體工藝生產(chan)過(guo)(guo)程(cheng)中對特(te)殊(shu)氣體連續(xu)供(gong)給和(he)高純(chun)(chun)度的(de)要求，同時也確保了工廠正常生產(chan)和(he)員工人身安(an)(an)(an)全(quan)。

8.特(te)氣(qi)柜(ju)與(yu)普(pu)通(tong)氣(qi)瓶柜(ju)的區(qu)別(bie)？

因特(te)(te)種氣(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)特(te)(te)殊性(xing)，承載特(te)(te)種氣(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)氣(qi)(qi)瓶柜體(ti)(ti)須為(wei)防爆柜體(ti)(ti)，同時為(wei)保證半(ban)(ban)導體(ti)(ti)制程(cheng)工藝中特(te)(te)種氣(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)穩定供氣(qi)(qi)和安(an)全，應具備多種功能，如柜內氣(qi)(qi)體(ti)(ti)泄漏(lou)偵測報(bao)警、PLC面(mian)板(ban)控制、全自動吹掃(sao)等，提高使用安(an)全系數，有效(xiao)的(de)(de)保護生(sheng)產安(an)全和人員的(de)(de)生(sheng)命安(an)全。其(qi)次，半(ban)(ban)導體(ti)(ti)行(xing)業(ye)配置電(dian)子特(te)(te)氣(qi)(qi)柜需要(yao)擁有SEMI S2認(ren)證。

9.特(te)氣柜的SEMI S2認證重要嗎？

SEMI S2的(de)(de)對(dui)象是針對(dui)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)制程(cheng)設備的(de)(de)，是關(guan)于(yu)環境、健康(kang)、安(an)全方面(mian)的(de)(de)標準，也即(ji)為EHS標準，因為半(ban)導(dao)(dao)體(ti)行業涉及到很多特種氣(qi)體(ti)、化學品(pin)及電氣(qi)、游(you)離及非游(you)離的(de)(de)輻射(she)，如果處(chu)理不(bu)好，下游(you)用(yong)戶在(zai)使用(yong)的(de)(de)時候就很容易導(dao)(dao)致事故甚至(zhi)災難(nan)，因此對(dui)設備廠商的(de)(de)設備產品(pin)如電子特氣(qi)柜，擁有SEMI S2認(ren)證就顯得極(ji)端重要。

SEMI S2認證

10.特(te)氣(qi)系統是什么(me)？

特(te)(te)種氣(qi)體的儲存、輸(shu)送與分配(pei)過程的設備、管(guan)道和部(bu)件都總稱(cheng)(cheng)則稱(cheng)(cheng)為特(te)(te)氣(qi)系統(tong)(tong)，是用于(yu)實(shi)現特(te)(te)氣(qi)安(an)全使(shi)用的氣(qi)體系統(tong)(tong)工程。

11.特氣系(xi)統(tong)的組成

特(te)氣(qi)(qi)(qi)系統由供(gong)氣(qi)(qi)(qi)端（CF4是氣(qi)(qi)(qi)體(ti)鋼瓶供(gong)氣(qi)(qi)(qi)）、GC特(te)氣(qi)(qi)(qi)柜/GR特(te)氣(qi)(qi)(qi)架、氣(qi)(qi)(qi)體(ti)閥(fa)門分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的(de)316L EP不銹鋼管道和氣(qi)(qi)(qi)體(ti)監(jian)測報警系統等組(zu)成(cheng)。

特氣系統

12.特(te)氣系統的應用(yong)領域？

特(te)氣系統(tong)廣泛電(dian)(dian)子(zi)(zi)工業(ye)領(ling)域(yu)，因為電(dian)(dian)子(zi)(zi)特(te)種(zhong)氣體是光(guang)電(dian)(dian)子(zi)(zi)、微電(dian)(dian)子(zi)(zi)等領(ling)域(yu)，特(te)別是超大規模(mo)集成(cheng)電(dian)(dian)路、液晶(jing)顯(xian)示(shi)器(qi)件、非晶(jing)硅(gui)薄膜太陽(yang)能電(dian)(dian)池(chi)、半導體發光(guang)器(qi)件和半導體材料(liao)制造過程不(bu)可缺(que)少(shao)的(de)基礎性(xing)支(zhi)撐源材料(liao)。它的(de)純度(du)(du)和潔凈度(du)(du)直接影(ying)響到(dao)光(guang)電(dian)(dian)子(zi)(zi)、微電(dian)(dian)子(zi)(zi)元器(qi)件的(de)質量(liang)、集成(cheng)度(du)(du)、特(te)定技術指(zhi)標和成(cheng)品(pin)率，并從根本上制約著(zhu)電(dian)(dian)路和器(qi)件的(de)精(jing)確(que)性(xing)和準確(que)性(xing)。

轉載：互聯網